bird4421功率计的产品优势

1. 计量精度稳定，适配半导体严苛制程管控

基础款 4421：整机满量程精度 ±3%，校准点精度可达 ±1%，足以捕捉射频微小漂移，区分机台功率偏差、腔室匹配损耗差异；

升级款 4421A：测量精度提升至±0.5%，分辨率 0.1dBm，远超普通国产功率计，可精准识别 ±0.3dB 以内功率波动，解决先进制程 CD 偏移、薄膜厚度不均、晶圆过蚀等良率问题；

支持 CW 连续波、脉冲射频双模式测量，适配当下双频、脉冲等离子刻蚀新工艺；

同步采集正向功率、反射功率、VSWR 驻波比、回波损耗四大核心参数，自动换算，无需人工计算，快速判断射频链路匹配状态。

2. 宽频宽功率量程，全兼容半导体主流射频频段

兼容 Bird 全系 402x/702x 系列通过式传感器，覆盖100kHz~2.5GHz，完整覆盖半导体 2MHz 低频偏压、13.56MHz 主射频、60MHz 高频工艺；

功率量程覆盖 100mW~10kW，适配刻蚀、沉积设备大功率射频源，无需更换多台仪表；

50Ω 标准阻抗匹配，完美对接机台射频匹配网络、腔室电极传输链路，可配套 TRL 校准套件完成链路去嵌入校正。

3. 双通道双传感器并行测量，校准效率大幅提升

原生双传感器输入接口，可同时接入两路射频采集单元，无需反复拆装线缆、切换通道，单次完成射频源端 + 腔室电极端分段对比校准，快速定位线缆损耗、匹配器老化故障点Bird；

自动识别传感器型号、量程、频率，无需手动配置，无尘车间现场作业减少人为操作失误；

4421A 搭载实时功率波形绘图功能，可视化观测功率波动，等待信号稳定后再记录读数，消除瞬态信号带来的测量误差，计量数据重复性大幅提升btgstore.c...